[发明专利]耦合温控系统及方法有效
| 申请号： | 202111673077.1 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114510089B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 何茂栋;于浩;芮守祯;李文博;常鑫;宋朝阳;曹小康;董春辉;冯涛 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 邢大鑫 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种耦合温控系统及方法，耦合温控系统包括制冷装置、加热装置和循环装置，制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、换热器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，循环装置包括换热器的换热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，加热装置包括废气处理设备，废气处理设备与换热器的放热通路连通。本发明在实现了温控系统的功能及废气处理设备的功能的基础上，将废气处理设备的能量用于温控系统中进行循环液的加热，有效的实现能源的综合利用和节能控制。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合 温控 系统 方法 | ||
【主权项】：
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