[发明专利]微机电系统在审
| 申请号： | 202111669517.6 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114286268A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 斯科特·莱尔·嘉吉 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种微机电系统，其包括背板和振膜。所述背板包括多个间隔设置且之间具有空隙的定子元件，所述定子元件包括第一导电元件；所述振膜包括分别对应多个所述空隙的多个褶皱，每个褶皱包括形成在远离所述背板的表面上的凹槽，所述褶皱包括第二导电元件。所述振膜响应所施加的压力而相对于所述背板移动，从而使所述褶皱移入或移出对应的所述空隙，从而改变所述第一导电元件和所述第二导电元件之间形成的电容。所述褶皱由远离所述背板的表面形成的凹槽限定，这有利于控制所述振膜的柔顺性并降低所述振膜的刚度。所述褶皱可以形成较低的长宽比，这使得它可以使用标准的正面工艺形成。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 | ||
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