[发明专利]微机电系统

权利要求书

1.一种微机电系统，其特征在于，所述微机电系统包括：

背板，其包括多个间隔设置且之间具有空隙的定子元件，所述定子元件包括第一导电元件；和

振膜，其包括分别对应多个所述空隙的多个褶皱，每个褶皱包括形成在远离所述背板的表面上的凹槽，所述褶皱包括第二导电元件；

其中，所述振膜响应所施加的其上的压力而相对于所述背板移动，使所述褶皱被移入或移出对应的所述空隙中，从而改变在所述第一导电元件和所述第二导电元件之间形成的电容。

2.权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，所述褶皱包括绝缘褶皱部分，所述第二导电元件呈褶皱状并嵌入在所述绝缘褶皱部分中。

3.权利要求2所述的微机电系统，其特征在于，所述褶皱还包括连接两个相邻所述绝缘褶皱部分之间的绝缘连接部分和嵌设于绝缘连接部分的导体，两个相邻的所述第二导电元件通过嵌入在绝缘连接部分中的导体相互连接。

4.如权利要求2所述的微机电系统，其特征在于，两个相邻的所述第二导电元件彼此断开，从而能够通过两个相邻的所述第二导电元件输出差分信号。

5.如权利要求2所述的微机电系统，其特征在于，所述褶皱还包括绝缘连接部分，所述绝缘连接部分与所述绝缘褶皱部分一体形成。

6.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，所述褶皱还包括绝缘连接部分，第二导电元件暴露在振膜的外部，两个相邻的第二导电元件彼此断开并连接到绝缘连接部分上。

7.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，每个褶皱沿第一方向延伸，多个所述褶皱沿相对于所述第一方向成角度的第二方向排列成行。

8.如权利要求7所述的微机电系统，其特征在于，在垂直于所述第一方向的横截面中，所述褶皱呈u形或v形。

9.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，所述褶皱的中线和对应的所述空隙的中线正对设置，且与所述褶皱的移动方向平行。

10.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，所述微机电系统进一步包括设置在所述振膜和所述背板之间的绝缘体。

11.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，相邻两个所述褶皱的中线之间的距离在3um到20um的范围内。

12.如权利要求11所述的微机电系统，其特征在于，相邻两个所述褶皱的中线之间的距离在6um到10um之间。

13.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，相邻两个所述定子元件之间的距离在0.5um至6um范围内。

14.如权利要求13所述的微机电系统，其特征在于，相邻两个所述定子元件之间的距离在1um到3um的范围内。

15.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，所述振膜包括一个用于悬挂所述褶皱的主体，并且所述主体与所述定子元件在所述褶皱移动方向上的距离在1.5um到12um之间。

16.如权利要求1所述的微机电系统，其特征在于，所述背板进一步包括安装在基板上的锚点和多个从所述背板的中心延伸至所述锚点的辐条，所述锚点和所述定子元件被布置在同心圆环上，所述定子元件被所述辐条悬挂。

17.如权利要求16所述的微机电系统，其特征在于，所述振膜具有圆形结构，所述褶皱排列在同心圆环中；

每个所述圆环包括多个间隔设置的褶皱部分，相邻的所述褶皱部分之间形成切口，以使得对应的所述辐条穿过。