[发明专利]一种KYKY分子泵机组真空系统检漏方法在审
| 申请号： | 202111659611.3 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114439731A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 田红义 | 申请（专利权）人： | 武汉亿贝达科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B37/14;F04B51/00;G01M3/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市洪山区狮*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种KYKY分子泵机组真空系统检漏方法，包括一种KYKY分子泵机组，一种KYKY分子泵机组包括前置真空泵、分子泵和封堵机构，所述封堵机构的一端固定安装有真空环境设备。本发明中对分子泵机内部填充示漏物质，通过施加负压的方式对分子泵机组进行检漏，通过对多处漏点堵漏的方式，使机组内的漏点更加全面的露出，使对机组的检查更加全面，通过机组原始封闭无漏点模型与机组内部含有漏点的三维立体模型的对比，能够清晰简单地获取漏点位置、数量和分布，便于还原漏点产生原因，便于工序的改进。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 kyky 分子 机组 真空 系统 检漏 方法 | ||
【主权项】：
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