[发明专利]一种KYKY分子泵机组真空系统检漏方法

说明书

本发明公开了一种KYKY分子泵机组真空系统检漏方法，包括一种KYKY分子泵机组，一种KYKY分子泵机组包括前置真空泵、分子泵和封堵机构，所述封堵机构的一端固定安装有真空环境设备。本发明中对分子泵机内部填充示漏物质，通过施加负压的方式对分子泵机组进行检漏，通过对多处漏点堵漏的方式，使机组内的漏点更加全面的露出，使对机组的检查更加全面，通过机组原始封闭无漏点模型与机组内部含有漏点的三维立体模型的对比，能够清晰简单地获取漏点位置、数量和分布，便于还原漏点产生原因，便于工序的改进。

技术领域

本发明涉及分子泵机组领域，具体为一种KYKY分子泵机组及真空系统检漏方法。

背景技术

分子泵组是分子泵与前级泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6～大气)工作，分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

分子泵是一种高速旋转的机械泵，因此对平衡的要求很高，分子泵在工作过程中，如果压强突然恶化，则有可能损坏叶片，因此对分子泵机组进行检漏十分必要，针对上述问题，本申请文件提出一种KYKY分子泵机组及真空系统检漏方法，能够有效解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种KYKY分子泵机组及真空系统检漏方法，以解决现有技术中分子泵机组需要进行检漏的问题。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明包括一种KYKY分子泵机组，包括前置真空泵、分子泵和封堵机构，所述封堵机构的一端固定安装有真空环境设备；

前置真空泵，前置真空泵作为前级粗抽机械泵；

分子泵，所述分子泵能够通过管道固定安装有前置真空泵；

封堵机构，多个所述封堵机构固定安装在前置真空泵和分子泵的进气口和抽气口处。

优选的：还包括填充装置；

所述填充装置的一端固定安装有增压泵，所述填充装置的一端还与示漏物质罐相连。

优选的：所述封堵机构的外壁分别设置有与真空环境设备和填充装置一端尺寸相适配的接口，所述封堵机构的尺寸与前置真空泵和分子泵的外壁接口尺寸相适配。

一种KYKY分子泵机组所述的一种KYKY分子泵机组真空检漏方法，包括：

向机组内部填充满示漏物质，获取机组内部压力值；

使机组外部处于稳定负压状态，监测机组外部负压状态下机组外部变化；

若出现示漏物质露出，则从机组外部将漏出点周边封堵，继续监测机组外部变化；

待示漏物质停止漏出时，向机组内部补充示漏物质至充满，向机组内示漏物质发射光线；

使用光敏传感器获取机组内部光线折射数据，绘制机组内部含有漏点的三维立体模型

优选的：所述示漏物质为具有低透光率的液体。

优选的：还包括机组原始封闭无漏点模型的绘制，与机组内部含有漏点的三维立体模型对比获取漏点位置。

优选的：所述待示漏物质停止漏出时，向机组内部补充示漏物质至充满，向机组内示漏物质发射光线包括：

所述光线发射时为多次间断发射，光线发射时的光线强度由弱到强不断提升，光线发射角度定向调整，至完整获取机组内部含有漏点的三维立体模型。

优选的：所述使用光敏传感器获取机组内部光线折射数据，绘制机组内部含有漏点的三维立体模型包括：