[发明专利]用于光学邻近校正的方法、电子设备和存储介质在审
| 申请号： | 202111657509.X | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114296935A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 全芯智造技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/50 | 分类号： | G06F9/50;G06F9/48 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于光学邻近校正的方法、电子设备和存储介质。该方法包括响应于接收针对版图的多个任务的信息，确定多个任务的优先级。将多个任务中的每个任务划分为多个子任务，多个子任务中的各个子任务分别一一对应于版图上的物理位置范围。确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系，获得确定结果。依赖关系表示在后子任务的执行依赖于对应版图上相同物理范围的在前子任务的执行状态。基于确定结果，调度在后子任务的执行。本公开实施例能够提高用户操作的易用性及任务执行效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 邻近 校正 方法 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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