[发明专利]用于光学邻近校正的方法、电子设备和存储介质

权利要求书

1.一种用于光学邻近校正的方法，包括：

响应于接收针对版图的多个任务的信息，确定所述多个任务的优先级；

将所述多个任务中的每个任务划分为多个子任务，所述多个子任务中的各个子任务分别一一对应于所述版图上的物理位置范围；

确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系，获得确定结果，所述依赖关系表示所述在后子任务的执行依赖于对应所述版图上相同物理范围的在前子任务的执行状态；以及

基于所述确定结果，调度所述在后子任务的执行。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

确定所述多个任务的业务逻辑配置；以及

将所述多个任务的业务逻辑配置读入内存空间中，使得所述多个任务的业务逻辑配置在所述多个任务的执行期间处于同一进程中。

3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述多个任务的优先级包括：

基于所述多个任务中各个任务对应的工艺顺序而确定所述多个任务的优先级。

4.根据权利要求1所述的方法，其中将所述多个任务中的每个任务划分为多个子任务包括：

将所述版图划分为单元格矩阵；以及

使所述多个任务中的每个任务的各个子任务所处理的区域分别一一对应于所述单元格矩阵中的一个单元格区域的物理位置范围。

5.根据权利要求1所述的方法，其中确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系包括：

确定与所述在后子任务对应于版图上相同物理范围的在前子任务是否执行完毕；以及

在所述在前子任务未执行完毕的情况下，确定所述在后子任务与所述在前子任务存在依赖关系。

6.根据权利要求1所述的方法，其中还包括：

在每个所述在前子任务被执行完毕后，更新所述在前子任务的状态。

7.根据权利要求1所述的方法，其中基于所述确定结果，调度所述在后子任务的执行包括：

如果所述确定结果表明所述在后子任务不依赖于所述在前子任务，则指示开始执行所述在后子任务；或者

如果所述确定结果表明所述在后子任务依赖于所述在前子任务，则指示所述在后子任务等待所述在前子任务执行完毕。

8.根据权利要求1所述的方法，其中还包括：

将所述在前子任务的执行结果存储到磁盘空间中；以及

在所述在后子任务依赖于所述在前子任务的情况下，基于存储到所述磁盘空间中的所述执行结果来执行所述在后子任务。

9.一种电子设备，包括：

处理器；以及

与所述处理器耦合的存储器，所述存储器具有存储于其中的指令，所述指令在被处理器执行时使所述设备执行动作，所述动作包括：

响应于接收针对版图的多个任务的信息，确定所述多个任务的优先级；

将所述多个任务中的每个任务划分为多个子任务，所述多个子任务中的各个子任务分别一一对应于所述版图上的物理位置范围；

确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系，获得确定结果，所述依赖关系表示所述在后子任务的执行依赖于对应所述版图上相同物理范围的在前子任务的执行状态；以及

基于所述确定结果，调度所述在后子任务的执行。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1-8中任一项所述的用于光学邻近校正的方法。