[发明专利]用于光学邻近校正的方法、电子设备和存储介质

说明书

公开了用于光学邻近校正的方法、电子设备和存储介质。该方法包括响应于接收针对版图的多个任务的信息，确定多个任务的优先级。将多个任务中的每个任务划分为多个子任务，多个子任务中的各个子任务分别一一对应于版图上的物理位置范围。确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系，获得确定结果。依赖关系表示在后子任务的执行依赖于对应版图上相同物理范围的在前子任务的执行状态。基于确定结果，调度在后子任务的执行。本公开实施例能够提高用户操作的易用性及任务执行效率。

技术领域

本公开的实施例主要涉及半导体制造技术领域，并且更具体地，涉及用于光学邻近校正的方法、电子设备和计算机可读存储介质。

背景技术

随着晶圆制程的不断演进，掩模的密度和复杂度也在不断提升。一般来说，光学邻近校正(Optical Proximity Correction，OPC)的计算引擎会通过分布式处理，将任务分解为一组子任务来执行，最后将子任务融合成为一个最终的执行结果。例如，一个典型的OPC校正任务，会被划分成数十万个子任务，运行在数千颗CPU上，总的运行时长可能长达数十个小时。

OPC计算引擎一般会根据用户的不同配置，来执行不同类型的任务。如果执行的一组任务存在输入输出的依赖关系，就需要保证严格的逻辑串行时序。这导致用户需要额外关注前后任务之间的输入输出。此外，由于任务之间需要保持严格的逻辑串行时序，所以会导致整个任务的运行时间过长。

发明内容

根据本公开的示例实施例，提供了一种改进的用于光学邻近校正的方案。

在本公开的第一方面，提供一种用于光学邻近校正的方法。该方法包括：响应于接收针对版图的多个任务的信息，确定多个任务的优先级；将多个任务中的每个任务划分为多个子任务，多个子任务中的各个子任务分别一一对应于所述版图上的物理位置范围；确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系，获得确定结果，依赖关系表示在后子任务的执行依赖于对应版图上相同物理范围的在前子任务的执行状态；以及基于确定结果，调度在后子任务的执行。

在本公开的第二方面中，提供了一种电子设备。该电子设备包括处理器以及与处理器耦合的存储器，存储器具有存储于其中的指令，指令在被处理器执行时使设备执行动作。该动作包括：响应于接收针对版图的多个任务的信息，确定多个任务的优先级；将多个任务中的每个任务划分为多个子任务，多个子任务中的各个子任务分别一一对应于版图上的物理位置范围；确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系，获得确定结果，依赖关系表示在后子任务的执行依赖于对应版图上相同物理范围的在前子任务的执行状态；以及基于确定结果，调度在后子任务的执行。

在一些实施例中，该动作还包括：确定所述多个任务的业务逻辑配置；以及将多个任务的业务逻辑配置读入内存空间中，使得多个任务的业务逻辑配置在多个任务的执行期间处于同一进程中。

在一些实施例中，其中确定多个任务的优先级包括：基于多个任务中各个任务对应的工艺顺序而确定多个任务的优先级。

在一些实施例中，将多个任务中的每个任务划分为多个子任务包括：将版图划分为单元格矩阵；以及使多个任务中的每个任务的各个子任务所处理的区域分别一一对应于单元格矩阵中的一个单元格的物理位置范围区域。

在一些实施例中，确定在后优先级的任务中的在后子任务与在前优先级的任务中的在前子任务的依赖关系包括：确定与在后子任务的执行是否依赖于与在后子任务对应于版图上相同物理范围的在前子任务是否执行完毕；在所述在前子任务未执行完毕的情况下，确定在后子任务与在前子任务存在依赖关系。

在一些实施例中，该方法还包括：在每个在前子任务执行完毕后，更新在前子任务的状态。