[发明专利]一种大尺寸平面金属靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202111654726.3 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114231918A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李晖云;崔宁 | 申请（专利权）人： | 东莞市精研粉体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F9/08;C21D9/00;C22C5/08;C22C19/05;C22C21/02;C22F1/02;C22F1/043;C22F1/08;C22F1/10;C22F1/14;C23C24/04 |
| 代理公司： | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人： | 杨艳霞 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大尺寸平面金属靶材的制备方法，包括以下步骤：先将高纯靶材金属用雾化法制成粉末，再采用超音速冷气动力喷涂法，以高纯氩气或高纯氦气作为气动介质，将高纯靶材成分的金属粉喷涂沉积到衬底板上，待涂层沉积到一定厚度后，对坯靶行真空退火以消除冷喷涂过程产生的应力；随后对靶坯进行3‑9道次冷轧压延加工，获得设定厚度的板材；将板材校平、机加工至合格尺寸，再按照常规工艺绑定背板，即可制成不同规格的平面靶材。本发明工艺制备的靶材，微观结构致密、无孔隙，晶粒尺寸均匀，晶粒尺寸小于10μm，较好地解决了大尺寸平面靶生产中如何实现靶材中晶粒细小，晶粒尺寸均匀这一工艺控制难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 平面 金属 制备 方法 | ||
【主权项】：
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