[发明专利]一种数字PCR微腔芯片及制备方法有效
申请号: | 202111645217.4 | 申请日: | 2021-12-29 |
公开(公告)号: | CN114308160B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | 殷敏;李睿文 | 申请(专利权)人: | 臻准生物科技(上海)有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00;C12Q1/686 |
代理公司: | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人: | 杨孟娟 |
地址: | 200233 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开了一种数字PCR微腔芯片及制备方法,该数字PCR微腔芯片包括:基底、第一键合层以及第二键合层,基底的正面设置有多个微腔结构,基底的背面设有与微腔结构连通的流道,第一键合层与基底的正面键合,第二键合层与基底的背面键合。该制备方法,包括如下步骤:在基底的正面进行微腔结构图形光刻;刻蚀出微腔结构;在基底的背面进行流道图形光刻;刻蚀出流道;在基底的正面和背面分别键合第一键合层和第二键合层。本申请通过在基底的双面分别设置微腔结构以及流道,保留了微腔芯片式的优势,液滴分样方便,便于实现高通量自动化数字PCR系统开发;本申请提出的双面刻蚀的工艺既可保证流道和微腔结构的制备精度,而且制备方法简单,容易实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 数字 pcr 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
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