[发明专利]一种带有反射极电源的碳离子源装置在审
| 申请号： | 202111625007.9 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114360991A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 洪俊华;刘金涛;郑皓文;侯爽;李轩;王雨淋;王振辉;雷晓刚;关天祺;孙世豪 | 申请（专利权）人： | 北京凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带有反射极电源的碳离子源装置带有反射极电源的碳离子源装置，其包括弧室、盖板、灯丝、阴极、反射极和通气孔；起弧室用于电子与气体分子碰撞产生等离子体的腔室；盖板上设置有用于引出等离子体的引出缝，将等离子体引出起弧室；灯丝被加热之后产生第一组电子，第一组电子用于加热阴极；阴极被加热后，产生第二组电子，第二组电子用于起弧；反射极设置在起弧室内与阴极相对的一侧，用于构筑起弧室内的电场；通气孔设置在起弧室的内壁，用于向起弧室输入气体。本发明的离子源装置可获得束流更大且更为纯净的碳离子束，且便于调节电场强度，提高了注入的质量，提升了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 反射 电源 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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