[发明专利]温度调节装置和老化测试系统在审

专利信息
申请号: 202111623772.7 申请日: 2021-12-28
公开(公告)号: CN114414984A 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 栾越;罗文奇;林鸿旸 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28;G05D23/22
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 张雪;张颖玲
地址: 430074 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种温度调节装置和老化测试系统。其中,温度调节装置包括温度调节组件,具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面;其中,在进行老化试验的低温试验时,对所述温度调节组件施加第一方向的电流,以对设置在所述第一表面上的电子器件进行加热;在进行老化试验的高温试验时,对所述温度调节组件施加第二方向的电流,以通过所述第一表面对所述电子器件进行散热;所述电子器件用于在老化试验中辅助被测产品进行老化测试;隔温罩,至少包围所述电子器件,用于减缓所述隔温罩内与所述隔温罩外的热量交换。
搜索关键词: 温度 调节 装置 老化 测试 系统
【主权项】:
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