[发明专利]长晶炉进气结构及长晶炉在审
| 申请号： | 202111599386.9 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114318516A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 鲍慧强;李宪宾;王增泽;井琳;刘振洲;刘冬冬;乔建东;杨帅;刘素娟;刘雪梅;叶欣怡;赵然 | 申请（专利权）人： | 国宏中宇科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B28/12;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 吴瑛 |
| 地址： | 100089 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体生长设备领域，公开了一种长晶炉进气结构及长晶炉，所述长晶炉进气结构包括炉体和端盖，炉体设有具有开口的反应腔体，端盖用于封闭开口，端盖设有测温通道，测温通道的一端与反应腔体连通，另一端设有测温窗，测温通道的通道壁设有用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口。通过上述技术方案，在端盖的测温通道设置用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口，第二进气口的进气从测温通道进入反应腔体，在流动过程中能够将已经进入测温通道的挥发物吹回至反应腔体内，并同时能够阻挡反应腔体内的挥发物进入测温通道，从而避免挥发物凝结在测温窗上，保证测温窗的洁净程度。 | ||
| 搜索关键词： | 长晶炉进气 结构 长晶炉 | ||
【主权项】：
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