[发明专利]一种单晶薄膜体声波谐振器及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202111597762.0 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114499440A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 | 代理人： | 刘新年 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶薄膜体声波谐振器及其制备方法和应用。该谐振器按照从下向上的顺序依次包括衬底层、布拉格反射层、第一键合层、第二键合层、压电层和电极层；所述电极层的宽度小于所述压电层；所述谐振器还包括第一氧化硅层和第二氧化硅层，所述第一氧化硅层和所述第二氧化硅层分别包围所述第一键合层和所述第二键合层设置，所述第一氧化硅层和所述第二氧化硅层内分别设有若干个水平排列的第一空气孔和若干个水平排列的第二空气孔；若干个所述第一空气孔与若干个所述第二空气孔一一对应并相通；所述压电层材料为AlN或者铌酸锂。本发明的谐振器可以提高品质因数并降低功率损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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