[发明专利]一种PECVD设备的辉光放电装置

摘要

本发明公开了一种PECVD设备的辉光放电装置，包括气体导入机构、上电极板和下电极板，上电极板和下电极板间隔设置在PECVD设备的反应室内，反应室包括腔体，上电极板盖合在腔体顶部，下电极板设于腔体内部的底板上；上电极板包括电极背板和喷淋板，电极背板的下端面为喷淋板，电极背板的顶部与气体导入机构的底部密封连接；气体导入机构包括相互独立送气的工艺气体导入通道和清洗气体导入通道，工艺气体导入通道的底部与电极背板的顶部密封连接，清洗气体导入通道沿竖直方向贯穿工艺气体导入通道内部并延伸至上电极板内部。本发明具有结构紧凑、操作简单、制造成本低等优点，实现了工艺、清洗气体独立送入，避免了气体交叉污染，提高了成膜质量。