[发明专利]一种悬臂件的处理方法在审
| 申请号： | 202111593139.8 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN116334541A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李万品 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 廖慧琪 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及机械加工技术领域，公开了一种悬臂件的处理方法，通过在真空室中，在悬臂件上沉积Si过渡层，并以石墨靶和Si靶为靶材，在沉积Si过渡层后的悬臂件上沉积SiC缓冲层，最后向真空室中通入氩气和甲烷，并以石墨靶为靶材，在沉积SiC缓冲层后的悬臂件上沉积DLC层，这样，DLC层的内应力能够通过Si过渡层、SiC缓冲层过渡缓冲得到释放，从而减小DLC层的内应力，进而改善悬臂件的应力情况，同时增强了悬臂件与DLC层的结合力，以及各个膜层之间的结合力，制得的DLC层均匀性好、表面平整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂 处理 方法 | ||
【主权项】：
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