[发明专利]一种利用吸水树脂膨胀并行制备大面积金属纳米狭缝的方法在审
| 申请号： | 202111591091.7 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114293161A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 王雷;王霞;代美芹 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/18;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/20;C23C14/30;C23C14/35 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 黄晓敏 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于纳米加工技术领域，涉及一种利用吸水树脂膨胀并行制备大面积金属纳米狭缝的方法，先将粉末状的吸水树脂材料均匀铺在所需基底上，形成稳定的吸水膨胀薄层；再在吸水膨胀薄层表面采用离子溅射技术制备金属纳米薄膜；然后在金属纳米薄膜表面滴加去离子水，实现金属纳米狭缝的大面积并行制备；采用并行加工方式，利用下层树脂材料的吸水膨胀作为驱动力，在上层金属薄膜中制备大面积金属纳米狭缝，整个并行加工过程简单高效、成本低廉、绿色环保、应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 吸水 树脂 膨胀 并行 制备 大面积 金属 纳米 狭缝 方法 | ||
【主权项】：
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