[发明专利]一种球形弯曲表面缺陷检测系统及检测方法在审
| 申请号: | 202111586731.5 | 申请日: | 2021-12-22 |
| 公开(公告)号: | CN115389526A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
| 发明(设计)人: | 王智;庞陈雷;杨青 | 申请(专利权)人: | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号: | G01N21/952 | 分类号: | G01N21/952;G01N21/01 |
| 代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人: | 奚丽萍 |
| 地址: | 310023 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种球形弯曲表面缺陷检测系统及检测方法,包括:夹持旋转模块,检测模块,所述检测模块包括光源,明场成像单元和暗场成像单元。S1:使用夹持旋转模块夹持被测镜片;S2:所述夹持旋转模块夹持所述被测镜片并以所述夹持旋转模块的中心轴旋转,同时所述检测模块以所述被测镜片的上表面球面球心偏转;或所述夹持旋转模块夹持所述被测镜片以所述夹持旋转模块的中心轴旋转,同时所述夹持旋转模块夹持所述被测镜片以所述被测镜片的上表面球面球心偏转;S3:所述暗场探测元件和所述明场探测元件将光信号转化为电信号。本发明检测球面的光学镜片,不仅适用于平面或者大曲率半径的球面,还适用于小曲率半径的球面,适应性强,检测精度高。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 球形 弯曲 表面 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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