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[发明专利]一种晶圆特征光谱在线检测装置-CN202310920882.2在审
发明人：杨青;王智;庞陈雷;金伟正;林飞宏 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆特征光谱在线检测装置，包括发散光源、透镜、晶圆、物镜、二向色镜、带阻滤光片、会聚透镜、小孔、准直透镜、分光器件、成像会聚透镜、线阵探测器以及转台，该在线检测装置可以在线对无图案晶圆表面进行扫描，并根据表面的发光光谱检测和分析晶圆缺陷，同时也可以辅助科研人员对晶体缺陷的发光特性进行研究，辅助产线的员工更好的识别缺陷，该在线检测装置可以结合其他成像装置，能够在获取缺陷位置后能够立即对晶体缺陷进行光谱分析，避免离线检测，大幅提升了检测效率和准确性，同时，也可以对无图案晶圆进行全局扫描，获得晶圆上的每一点光谱信息。
一种特征光谱在线检测装置

[发明专利]一种跨视场划痕缺陷连续性检测方法和系统-CN202310582526.4有效
发明人：杨青;陆宏杰;庞陈雷;王智;王兴锋;卓桐 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种跨视场划痕缺陷连续性检测方法和系统。包括：1）检测获得单视场划痕缺陷的坐标信息；2）根据划痕缺陷坐标进行工件整体划痕分布图的绘制；3）确定缺陷分布图坐标及保存图像像素映射关系；4）再通过图像预处理、骨架提取、连通域计算、拟合度计算以及坐标像素映射等步骤获得跨视场划痕的统计信息。本发明实现了对工件表面跨视场划痕缺陷的连续性检测效果，相比于现有的划痕缺陷检测算法，能够在较小的物方视场尺寸即较高的物方检测分辨率时保证划痕缺陷检测的完整性，同时不需要将跨视场划痕缺陷图像进行拼接后再进行特征的提取，大大降低了对算力的要求。
一种视场划痕缺陷连续性检测方法系统

[发明专利]一种基于半定规划的金属结构箱型梁的轻量化设计方法-CN202310520845.2在审
发明人：杨青;王兴锋;庞陈雷;王智;陆宏杰;牛春阳;卓桐 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于半定规划的金属结构箱型梁的轻量化设计方法，包括：确定金属结构箱型梁的尺寸序列，以及纵向加强筋布设的位置和数量，得到所有可能的截面，进行稳定性判定，得到可行截面集合；计算可行截面集合中每个截面的面积和强轴惯性矩，得到“面积‑惯性矩”平面中的点集；定义点集的凸包，得到凸多边形顶点的组合系数；以箱型梁截面面积最小为优化目标，考虑箱型梁的柔度约束和力平衡约束，以凸多边形顶点的组合系数为变量，构建松弛优化问题的非凸模型；将松弛优化问题的非凸模型等效转化为半定规划问题，求解得到全局最优解；对全局最优解进行邻域搜索，得到离散可行解，即金属结构箱型梁的截面设计方案。
一种基于规划金属结构箱型梁量化设计方法

[发明专利]载台和设备-CN202310536828.8在审
发明人：杨青;王兴锋;庞陈雷;王智;陆宏杰;卓桐 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-05-10 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆载台和设备。晶圆载台包括转接板、真空吸盘和气动阀块。转接板，包括吸附表面和安装表面。所述转接板还包括贯穿的真空孔以及设置于所述安装表面的凹入部。真空吸盘设置于所述吸附表面，与所述转接板可拆卸连接。气动阀块设置于所述凹入部。所述气动阀块由三维打印生成，内部包含可分配真空负压的气路。通过将气道内置在气动阀块中，可以避免在晶圆载台内的狭小空间中安装气管和气动接头，显著降低了安装难度，同时使得结构变得紧凑，明显减小了晶圆载台的体积。
设备

[发明专利]一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法-CN202310169949.3有效
发明人：陆宏杰;杨青;庞陈雷;王智;卓桐;王兴锋;牛春阳;殷源;刘旭 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G02B7/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
一种基于光谱原位自动对焦装置方法

[发明专利]一种相机安装角度的校正方法-CN202211600169.1在审
发明人：杨青;陆宏杰;庞陈雷;王智;卓桐;王兴锋 -专利权人：之江实验室
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06T7/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种相机安装角度的校正方法。从相机安装角度倾斜引起的图像变换特征出发，根据相机类型对成像图像做仿射变换的逆变换，通过求取对应坐标点距离极小值对应的倾斜角度或旋转角度，从而获得相机安装倾斜的角度。本发明方法对校正图像安装角度无特殊要求，同时适用于线阵相机和面阵相机的安装角度校正，能够通过自动化程序实现在线高效相机安装角度计算和校正。
一种相机安装角度校正方法

[发明专利]一种在线光谱缺陷检测系统及其检测方法-CN202310236806.X在审
发明人：王智;杨青;庞陈雷;陆宏杰;王兴锋;卓桐 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆缺陷检测系统，具体涉及一种在线光谱缺陷检测系统及其检测方法，包括暗场光源、待测件、物镜、筒镜和成像机构；还包括半反半透镜、扩束镜、二维振镜、准直透镜、二向色镜、激光光源和光学检测机构；半反半透镜可动的设置于物镜与筒镜之间，且位于荧光的光路的同一水平面内。与现有技术相比，本发明解决现有技术中需要频繁更换滤光片以及每次更换滤光片后需要重新完整扫描的缺陷，实现了在线对重点关注缺陷进行快速荧光光谱分析，有效提高检测效率，并能够降低定位差错的情况。
一种在线光谱缺陷检测系统及其方法

[发明专利]一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法-CN202111572710.8有效
发明人：王智;杨青;庞陈雷 -专利权人：浙江大学;之江实验室
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法。激光对焦系统通常用于无限远共轭光学系统中，可以检测物方待测样品的位置。其耦合到对应的检测系统或者观察系统中，虽然能够获得一致的对焦结果，但是由于激光对焦系统本身的误差，激光对焦系统耦合到系统中的安装误差以及激光对焦系统波长与检测或者成像系统使用波长的差异，导致激光对焦系统认定的样品位置并非检测系统或观察系统的成像最清晰位置，因此需要设置激光对焦系统的偏移量。本发明提出了一种激光对焦成像系统，能够判断样品上表面与激光对焦系统的焦面的相对位置，同时，提出了一种自动化设置偏移量的方法。本发明具有成本低，精度高，自动化程度高的特点。
一种激光对焦成像系统偏移自动化检测方法

[发明专利]一种相机高速成像装置及方法-CN202211604243.7在审
发明人：陆宏杰;杨青;庞陈雷;王智;王兴锋;卓桐 -专利权人：之江实验室
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H04N23/695 文献下载
摘要：本发明公开了一种相机高速成像装置及方法。借鉴TDI相机的时间延迟积分实现原理，将面阵相机固定到运动机构上并使其运动速度匹配物方检测工件的运动速度，使得面阵相机的成像面与检测工件成像区域的像面图像相对静止，从而增加相机曝光积分的时间，提高相机的成像对比度。相比于常规的面阵相机固定安装成像方式，在避免运动模糊的前提下，其最多只能实现相机单像素对应物方视场尺寸所需运动耗时的曝光时间；本发明通过添加相机同步运动机构，能够在不降低检测效率的前提下，将相机的曝光时间提升二至三个数量级。
一种相机高速成像装置方法

[发明专利]一种结合像散法和莫尔条纹法的大范围高精度对焦装置-CN202310216931.4在审
发明人：杨青;金伟正;王智;庞陈雷;林飞宏 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G02B7/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种结合像散法和莫尔条纹法的大范围高精度对焦装置，属于超精密光学测量领域。本发明装置的作用是实时检测光刻机系统硅片的焦点位置，完成硅片的高精度调焦。检焦装置利用硅片离焦引起的四象限探测器上光斑形状变化完成硅片的大范围粗调焦；利用硅片离焦引起的光栅泰伯自成像周期变化导致的莫尔条纹周期和位相改变，完成硅片的小范围高精度调焦。本发明与现有焦面跟踪装置相比，采用了共轴的检焦方式，极大的扩展了焦面跟踪的范围，同时保证了高精度调焦。
一种结合像散法莫尔条纹范围高精度对焦装置

[发明专利]照明装置和光学检测设备-CN202310172098.8在审
发明人：王兴锋;杨青;庞陈雷;王智;陆宏杰;卓桐 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G03B15/03 文献下载
摘要：本申请涉及一种照明装置和光学检测设备。照明装置包括外壳、固定组件以及照明组件。外壳包括垂直于第一方向的照明表面和安装表面、设置于安装表面和照明表面之间的内腔、以及连通照明表面和安装表面的通孔。通孔用于容纳光学镜头。固定组件靠近安装表面设置于内腔中，用于在第二方向上与光学镜头可拆卸连接；第二方向垂直于第一方向；照明组件设置于内腔中。外壳包括设置于照明表面的照明孔；照明组件露出于照明孔。本申请的技术方案从根本上解决了在狭小空间内固定照明装置的难题，也消除了因照明装置滑落造成的样品表面损伤的问题。并且照明组件的设置提高了样品表面的光照强度，因此能够缩短成像所需的时间。
照明装置光学检测设备

[发明专利]一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统-CN202310060938.1在审
发明人：杨青;王智;庞陈雷;林飞宏;殷源 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-01-16 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种无图案晶圆缺陷多通道检测系统，包括光纤束、准直透镜、第一狭缝光阑、偏振分束镜、第一筒镜、第一二向色镜、第二二向色镜、DIC棱镜、第一物镜、晶圆、第二狭缝光阑、中继镜、第一线阵相机、第二物镜、反射镜、检偏器、第二筒镜、第二线阵相机、纳秒激光器、整形器、第三二向色镜、第三筒镜、第一TDI相机、第四筒镜、第二TDI相机、第四二向色镜、第五筒镜、第三TDI相机、第六筒镜以及第四TDI相机。通过这些元件可以实现晶圆表面、亚表面及内部应力的缺陷检测，且可以实现晶圆表面缺陷和晶圆亚表面缺陷的同时检测，晶圆内部应力缺陷和晶圆亚表面缺陷的同时检测。
一种图案缺陷通道检测系统

[发明专利]基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统及方法-CN202211540940.0在审
发明人：杨青;林飞宏;王力宁;王智;庞陈雷 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于线阵布里渊显微的晶圆和芯片缺陷检测系统及方法，属于光学精密测量领域和晶圆检测领域。系统中布里渊散射探测模块、明场探测模块和信号处理与反馈模块相连，信号处理与反馈模块与位移模块相连；信号处理与反馈模块和成像与分析模块相连，将单次线束测量数据传输至成像与分析模块；位移模块与样品相连；布里渊散射探测模块、明场探测模块与样品相连，实现对样品信息的采集。本发明通过布里渊散射探测模块能对晶圆和非透明的芯片等样品的机械性质进行线扫描共聚焦测量，大大提高布里渊散射探测的速度；明场线阵探测和布里渊散射线阵探测的结合，可同时获取晶圆和芯片样品的几何缺陷和机械应力缺陷，拓宽缺陷检测参量。
基于线阵布里渊显微芯片缺陷检测系统方法

[发明专利]一种亮度非均匀性在线补偿的图像处理方法-CN202211326022.8有效
发明人：杨青;陆宏杰;庞陈雷;卓桐;王智;王兴锋;牛春阳;殷源;刘旭 -专利权人：之江实验室
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种亮度非均匀性在线补偿的图像处理方法。本发明结合机器视觉缺陷检测场景的特征，通过序列图像提取邻近区域内非均匀性光照在工件表面非缺陷区域上的成像亮度信息，参考光响应非均匀性的校正步骤，设定均匀光照亮度期望值，获得该区域内非均匀亮度的补偿增益参数，实现亮度非均匀性的在线补偿。本发明避免了亮度非均匀性离线补偿方法使用单一视场区域计算补偿增益导致的工件表面其他区域出现过补偿或欠补偿的情况，并避免了FFT滤波等在线图像处理算法导致的图像细节特征失真和无法适应工件边缘图像等问题。
一种亮度均匀在线补偿图像处理方法

[发明专利]基于非线性倏逝场的深移频超分辨显微芯片及其成像方法-CN202211409763.2在审
发明人：杨青;林沐春;庞陈雷;张乾威;杨啸宇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于非线性倏逝场的深移频超分辨显微芯片及其成像方法，属于移频超分辨显微成像领域。深移频超分辨成像芯片包括由下至上依次堆叠设置的衬底层、非线性光学材料膜层、表面等离激元膜系和微结构层；表面等离激元膜系和微结构层的中央区域整体贯穿开设有多边形孔槽，暴露出的部分非线性光学材料膜层作为成像样品放置区；环绕多边形孔槽，微结构层的上表面刻设有若干组微结构。本发明利用非线性四波混频效应激发、调控和增强超大波矢倏逝场并应用于移频超分辨成像，解决了天然波导材料提供的倏逝场波矢有限且波矢越大信号较弱的问题，可在保证成像质量的前提下突破现有线性移频超分辨成像技术的分辨率上限。
基于非线性倏逝场深移频超分辨显微芯片及其成像方法

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