[发明专利]等离子清洗机在审
| 申请号： | 202111584883.1 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114308900A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 孔令民;钟军勇;邵文林;朱霆;周学慧;张凯 | 申请（专利权）人： | 深圳泰德半导体装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 王韬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种等离子清洗机，该等离子清洗机包括等离子清洗机本体和物料放置轨道；所述物料放置轨道用于放置待清洗物料，所述物料放置轨道设于所述等离子清洗机本体内，所述物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料。本发明技术方案通过改变传统的普通物料放置轨道，在物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料，利用复合陶瓷材料的电子绝缘性能，确保物料清洗均匀性、保证等离子清洗能量、延长物料放置轨道使用周期、提高物料清洗的时效性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 清洗 | ||
【主权项】：
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