[发明专利]等离子清洗机

说明书

本发明公开一种等离子清洗机，该等离子清洗机包括等离子清洗机本体和物料放置轨道；所述物料放置轨道用于放置待清洗物料，所述物料放置轨道设于所述等离子清洗机本体内，所述物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料。本发明技术方案通过改变传统的普通物料放置轨道，在物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料，利用复合陶瓷材料的电子绝缘性能，确保物料清洗均匀性、保证等离子清洗能量、延长物料放置轨道使用周期、提高物料清洗的时效性。

技术领域

本发明涉及等离子清洗设备技术领域，特别涉及一种等离子清洗机。

背景技术

等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗对被清洗物带来的二次污染。等离子清洗机外接一台真空泵，工作时等离子清洗腔中的工艺气体在射频激发下产生等离子体并不断撞击材料表面，同时与被清洗物料表面发生化学反应，短时间的清洗便可以使有机污染物被有效地清洗掉，之后污染物脱离后被真空泵抽走，等离子清洗机除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能。

现有等离子清洗机的物料放置轨道，一般采用普通钢、不锈钢、铝、高级工程塑料等材料。

普通钢表面处理做物料放置轨道时，因普通钢主要成分是铁无素容易被磁化，轨道被磁化后在其周围形成强弱不同的磁场，等离子体中的电子和正离子都在作高速运动，由于非均匀磁场的作用，运动的带电粒子会发生一种垂直于磁场方向的漂移，引起清洗腔体内的等离子体分布不均匀，影响物料清洗的均匀性。

不锈钢与铝等非磁性金属材料做轨道时，轨道导电性良好，轨道与清洗物料表面会形成等离子鞘层，等离子清洗首先需要突破鞘层阻挡，才能对物料表面完成清洗，离子能量会有部分损失，清洗效果欠佳。

高级工程塑料等非金属材料做轨道，清洗效果良好，但工程塑料在高能离子的轰击会分解为其它物质，或挥发后粘到清洗腔体内璧及清洗物料表面，影响物料的清洗效果，且长期使用轨道的重量损失明显，需要经常更换。

同时，QFN物料键合一片料的时间约需40-60分钟，通常生产中每盒料放置10个料片，因此一盒料打线完成需要400-600分钟，清洗完成的物料普遍要求8小时水滴角小于50度，而现有等离子清洗机物料的放置轨道进行清洗物料，QFN物料清洗完成一般4小时左右水滴角就回升到50度左右，客户为减少打线告警率及打线的可靠性，只能减少每盒料的放置数量或打线异常时进行二次清洗。如此，等离子清洗的物料时效性差，清洗效果不佳。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种等离子清洗机，旨在解决等离子清洗机清洗效果不佳的问题。

为实现上述目的，本发明提出的等离子清洗机，该等离子清洗机包括等离子清洗机本体；

物料放置轨道，用于放置待清洗物料，所述物料放置轨道设于所述清洗机本体，所述物料放置轨道的裸露面喷涂有复合陶瓷材料。

在一实施例中，所述复合陶瓷材料由氧化铝和氧化硅组成，所述氧化铝占比65％至75％，所述氧化硅占比25％至35％。

在一实施例中，所述复合陶瓷材料通过等离子喷涂在所述物料放置轨道的裸露面。

在一实施例中，所述物料放置轨道包括多个支撑架和底座，多个所述支撑架设于所述底座上，所述支撑架用于放置所述待清洗物料，所述支撑架和所述底座的每个裸露面均等离子喷涂有所述复合陶瓷材料。

在一实施例中，所述支撑架包括固定支撑架和活动支撑架，所述活动支撑架与所述固定支撑架彼此交错间隔排布，所述固定支撑架和所述活动支撑架的每个裸露面均等离子喷涂有所述复合陶瓷材料。

在一实施例中，所述底座包括活动底板和固定导轨，所述活动底板可活动地设于所述固定导轨，所述活动支撑架固定于所述活动底板上，多个所述固定支撑架固定于所述固定导轨上，所述固定导轨和所述活动底板的每个裸露面均等离子喷涂有所述复合陶瓷材料。