[发明专利]一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法在审
| 申请号： | 202111573963.7 | 申请日： | 2021-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN114326164A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张桂菊;汪成根;王笑笑 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02B6/13 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法。在衬底上设置2×2光开关单元波导结构，两根波导呈轴对称分布，包括两个输入端口和两个输出端口、中间为耦合区域；在耦合区域采用脉冲激光沉积方法制备得到与靶材组分一致的均匀百纳米级的Ge |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 相变 材料 波导 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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