[发明专利]横向光电探测器在审

专利信息
申请号: 202111556216.2 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN114242827A 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 周幸叶;吕元杰;王元刚;郭红雨;冯志红 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: H01L31/107 分类号: H01L31/107;H01L31/0216;H01L31/0232
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 张一
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供一种横向光电探测器。该横向光电探测器包括:衬底;第一外延层,形成于衬底上,且背离衬底的一侧形成有隔离平台;阳极区和阴极区,形成于第一外延层上,且阳极区和阴极区通过隔离平台隔离,隔离平台的上表面高于阳极区的上表面以及阴极区的上表面;其中,阳极区、隔离平台和阴极区形成横向PIN结;第一电极,形成于阳极区上;第二电极,形成于阴极区上。本发明能够提高半导体光电探测器工作性能。
搜索关键词: 横向 光电 探测器
【主权项】:
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