[发明专利]一种镀膜工艺在审
| 申请号： | 202111546539.3 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114231946A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 刘文国;周辉文;刘超 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(安徽)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王丽莎 |
| 地址： | 230088 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种镀膜工艺，属于太阳能电池领域。镀膜工艺包括：在进舟后，依次进行升温处理、第一次抽真空处理、检漏处理、第二次抽真空处理、恒压处理以及镀膜处理；其中，在进舟步骤之后且升温处理步骤之前，不进行充氮处理。该镀膜工艺减少镀膜中高频出现的次数，从而能提高产能并降低产品不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
