[发明专利]一种超高纯锗单晶载流子浓度的检测方法在审
| 申请号： | 202111543211.6 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114235899A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 顾小英;赵青松;狄聚青;牛晓东 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李慧慧 |
| 地址： | 239000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高纯锗单晶载流子浓度的检测方法，先测低温电阻率，再取霍尔样片进行霍尔检测，可初步得出超高纯锗单晶净杂质浓度的整体分布图，可较精准制取霍尔样片，可减少霍尔样片取片次数，可避免合格锗段的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 锗单晶 载流子 浓度 检测 方法 | ||
【主权项】：
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