[发明专利]用于测量工件厚度的色度范围传感器系统在审

专利信息
申请号: 202111540823.X 申请日: 2021-12-16
公开(公告)号: CN114646267A 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: N.拉曼 申请(专利权)人: 株式会社三丰
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王增强
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种色度范围传感器(CRS)系统,所述CRS确定工件厚度并且包含光学笔、照明源、波长检测器和处理部分。所述光学笔包含提供轴向色度色散的光学器件部分,所述照明源被配置成产生多波长光,并且所述波长检测器包含沿测量轴分布的多个像素。在操作中,所述光学笔输入来自所述照明源的光谱并将对应的辐射输出到工件(例如,所述工件可以是透明的)的第一工件表面和第二工件表面,并且将所反射辐射输出到提供输出光谱数据的所述波长检测器。所述处理部分对所述输出光谱数据进行处理以确定所述工件的厚度。在各个实施方案中,所述用于确定所述厚度的处理可以不依赖于确定到所述工件的距离和/或可以利用变换处理等。
搜索关键词: 用于 测量 工件 厚度 色度 范围 传感器 系统
【主权项】:
暂无信息
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