[发明专利]一种超双疏的微纳复合结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202111527592.9 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114265281A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 朱昕越;葛海雄 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 霍苗 |
| 地址： | 210008 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳米加工技术领域，提供了一种超双疏的微纳复合结构及其制备方法。本发明利用光刻和元素刻蚀，在基底表面制备悬垂的微米孔阵列；再利用紫外光纳米压印技术在微米孔阵列上压印纳米结构，即可获得超疏水和超疏油性能的微纳复合结构。本发明提供的制备方法具有制备周期短和可重复性高的优点，制备得到的超双疏的微纳复合结构具有优异的疏水疏油性，在自清洁、防腐蚀和防污方面，有广阔的应用前景。实施例的数据表明：本发明提供的超双疏的微纳复合结构水接触角为150～162.8°，油接触角为150～154.8°。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超双疏 复合 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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