[发明专利]晶振片超声波脱膜方法在审

专利信息
申请号: 202111526982.4 申请日: 2021-12-13
公开(公告)号: CN114247699A 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 顾迎春;吴承伟;彭乔 申请(专利权)人: 安徽光智科技有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B3/08;B08B3/02;F26B5/08
代理公司: 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 代理人: 张向琨
地址: 239004 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 本公开提供了一种晶振片超声波脱膜方法,包括以下步骤:步骤一,将晶振片固定于超声晶体篮中;步骤二,将装有晶振片的清洗篮浸没于超声波清洗机的强碱原液清洗槽中,在加热强碱中浸泡;步骤三,将超声装有晶振片的清洗篮置于超声波清洗机的纯水喷淋槽中冲洗;步骤四,将装有晶振片的清洗篮依次置于超声波清洗机的1号、2号、3号弱碱清洗剂槽中,加热清洗;步骤五,将弱碱清洗后的装有晶振片的清洗篮依次置于超声波清洗机的1号、2号、3号纯水清洗槽中清洗;步骤六,将装有晶振片的清洗篮置于甩干机中进行甩干,晶振脱膜过程结束。通过本公开的方法,脱膜后的晶振片可重复使用,大大的节约了成本。
搜索关键词: 晶振片 超声波 方法
【主权项】:
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