[发明专利]一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置在审
| 申请号： | 202111524205.6 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114211315A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 叶国卿;贺贤汉;邵勇;陈卫芳 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B9/06;B24B41/04 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，包括倒角砂轮装置，倒角砂轮装置包括一倒角砂轮，倒角砂轮安装在一电主轴上，电主轴安装在一气动浮动装置上，气动浮动装置与一六轴机器人臂连接；倒角砂轮是一圆盘状结构，且倒角砂轮的外边缘呈45°斜角。本发明专利设计了一种高速的45°斜角的倒角砂轮，安装于电主轴之上，电主轴再安装在一个气动浮动装置之上，气动浮动装置安装到六轴机器人臂上，实现多品种坩埚柔性加工。并且没有明显崩边现象，倒角面表面光洁、无波浪，效果良好，可以实现多品种批量自动化生产。浮动机构可以实现恒力研磨倒角，满足坩埚圆度普遍在2mm‑4mm仍然可以实现均匀倒角，实现多品种坩埚内外倒角柔性生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高速 恒力 浮动 石英 坩埚 倒角 砂轮 装置 | ||
【主权项】：
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