[发明专利]一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置

权利要求书

1.一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，包括倒角砂轮装置，其特征在于，所述倒角砂轮装置包括一倒角砂轮，所述倒角砂轮安装在一电主轴上，所述电主轴安装在一气动浮动装置上，所述气动浮动装置与一六轴机器人臂连接；

所述倒角砂轮是一圆盘状结构，且所述倒角砂轮的外边缘呈45°斜角，倒角砂轮装置的工作方向朝向石英坩埚。

2.根据权利要求1所述的一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，其特征在于，所述斜角砂轮采用直径在60-100、厚度在5mm-8mm的140#金刚砂烧结。

3.根据权利要求2所述的一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，其特征在于，所述斜角砂轮采用直径φ80、厚度6mm的140#金刚砂烧结。

4.根据权利要求1所述的一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，其特征在于，所述电主轴的转速在6000rpm-12000rpm之间，石英坩埚转速在5-8rpm之间。

5.根据权利要求4所述的一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，其特征在于，所述电主轴转速为8000rpm。

6.根据权利要求1所述的一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，其特征在于，所述气缸恒力浮动机构浮动范围±5mm。

7.根据权利要求1所述的一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，其特征在于，所述气缸恒力浮动机构的压缩空气经过过滤减压单元后进入电气比例阀，软件设定所需压力，经过三点阀控制气缸的进出方向，实现气缸双向恒力±7.5可以浮动。

8.根据权利要求1所述的一种高速恒力浮动石英坩埚倒角砂轮装置，其特征在于，所述电主轴是防水性电主轴。