[发明专利]一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统在审
| 申请号： | 202111520689.7 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114485166A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 吴景晖;雷孝吕;杜全国;王秦超;吴栋;宋彦明;姚力军 | 申请（专利权）人： | 宁波创润新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/06 | 分类号： | F27B14/06;F27B14/10;F27B14/16;C22B9/22;C23C18/31 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 郎祺 |
| 地址： | 315460 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空电子束冷床熔炼炉系统，包括熔炼单元、真空抽气单元和抽蒸发料单元；熔炼单元包括EB炉体，EB炉体中设置有铸造坩埚和水平坩埚；真空抽气单元包括扩散泵，EB炉体与扩散泵通过真空抽气管道连通；抽蒸发料单元包括沉粉腔和扩散泵，EB炉体与扩散泵通过蒸发料抽除管道连通，蒸发料抽除管道的入口设置在水平坩埚的上方；蒸发料抽除管道包括多段，相邻段的轴心方向不同，相邻段的连接处的底部设置有沉粉腔。本发明中通过抽蒸发料单元的设置，对杂质与原料蒸发产生的蒸发料进行收集，大大减少EB炉体与蒸发料的接触，大大减缓蒸发镀层的形成速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 蒸发 镀层 真空 电子束 冷床 熔炼炉 系统 | ||
【主权项】：
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