[发明专利]一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统

权利要求书

1.一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，包括熔炼单元、真空抽气单元和抽蒸发料单元；所述熔炼单元包括EB炉体(6)，所述EB炉体中设置有铸造坩埚(1)和水平坩埚(2)；

所述真空抽气单元包括扩散泵(4)，所述EB炉体(6)与扩散泵(4)通过真空抽气管道(5)连通；

所述抽蒸发料单元包括沉粉腔(3)和扩散泵(4)，所述EB炉体(6)与所述扩散泵(4)通过蒸发料抽除管道(7)连通，所述蒸发料抽除管道(7)的入口设置在所述水平坩埚(2)的上方；所述蒸发料抽除管道(7)包括多段，相邻段的轴心方向不同，相邻段的连接处的底部设置有所述沉粉腔(3)。

2.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述蒸发料抽除管道(7)分两段设置。

3.根据权利要求2所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述蒸发料抽除管道(7)包括第一管道和第二管道，所述第一管道和第二管道的轴心方向垂直，所述第一管道和第二管道的连接部位的底部设置有所述沉粉腔(3)。

4.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述蒸发料抽除管道(7)的入口设有格栅。

5.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述扩散泵(4)的工作压力为1～1×10^-6pa。

6.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述沉粉腔(3)可拆除地设置在相邻段的连接处的底部。

7.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，在所述EB炉体(6)远离所述铸造坩埚(1)的一端的外表面上，设有抽真空口与所述真空抽气管道(5)连通。

8.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，在所述EB炉体(6)位于所述水平坩埚(2)上方，设有蒸发料抽除口与所述蒸发料抽除管道(7)连通。