[发明专利]一种多电极压力传感器在审
申请号: | 202111520297.0 | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN114414127A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 杨劲松;刘庆;王小文;朱健;何炳伟;金亮 | 申请(专利权)人: | 重庆市伟岸测器制造股份有限公司 |
主分类号: | G01L7/08 | 分类号: | G01L7/08;G01L9/12 |
代理公司: | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人: | 余锦曦 |
地址: | 401121 重庆市*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种多电极压力传感器,包括两个圆盘状的第一膜座,两个第一膜座边缘对焊连接以将二者之间的金属材质膜片固定,每个第一膜座的内侧面分别设有镀膜电极,第一膜座的镀膜电极与膜片的相应侧面组成测量电容,每个第一膜座与膜片之间形成密封的感应腔;每个第一膜座外分别设置有第二膜座,第二膜座与相应的第一膜座外侧边缘密封固定连接,二者之间围成稳压腔,稳压腔与位于膜片同侧的感应腔连通;第二膜座内侧面设有镀膜电极,该镀膜电极与相应第一膜座外侧的金属面组成补偿电容。本发明的有益效果:从电学和机械两个角度提高传感器的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 电极 压力传感器 | ||
【主权项】:
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