[发明专利]一种多电极压力传感器

权利要求书

1.一种多电极压力传感器，包括两个圆盘状的第一膜座(110)，两个所述第一膜座(110)之间夹设有金属材质的膜片(120)，两个所述第一膜座(110)边缘对焊连接以将所述膜片(120)固定，每个所述第一膜座(110)的外侧面为金属面，每个所述第一膜座(110)的内侧面分别设有镀膜电极，该镀膜电极与所述膜片(120)的相应侧面形成测量电容，每个所述第一膜座(110)的镀膜电极分别连接有第一信号引线(170)，所述第一信号引线(170)分别密封穿出所述第一膜座(110)，每个所述第一膜座(110)与所述膜片(120)之间形成密封的感应腔(130)，其特征在于：

每个所述第一膜座(110)外分别设置有第二膜座(140)，所述第二膜座(140)与相应的所述第一膜座(110)外侧边缘密封固定连接，所述第二膜座(140)与相应的所述第一膜座(110)之间围成稳压腔(150)，所述稳压腔(150)与位于所述膜片(120)同侧的所述感应腔(130)连通；

所述第二膜座(140)的内侧面也设有镀膜电极，该镀膜电极与相应的所述第一膜座(110)外侧的金属面正对以形成补偿电容，所述第二膜座(140)内侧面上的所述镀膜电极连接有第二信号引线(180)，所述第二信号引线(180)密封穿出所述第二膜座(140)。

2.根据权利要求1所述的一种多电极压力传感器，其特征在于：所述第二膜座(140)的结构与所述第一膜座(110)相同；

所述第一膜座(110)朝向所述膜片(120)一侧开有凹槽，所述第二膜座(140)上的凹槽朝向相应的所述第一膜座(110)外侧面；

所述凹槽内壁上设有所述镀膜电极；

所述第一信号引线(170)或第二信号引线(180)与相应所述镀膜电极的连接点靠近对应所述凹槽的边缘。

3.根据权利要求2所述的一种多电极压力传感器，其特征在于：所述第一膜座(110)包括玻璃材质的内圆盘(111)和金属材质的外圆盘(112)，所述内圆盘(111)的内侧面上开设有所述凹槽，所述内圆盘(111)与所述外圆盘(112)熔结，所述内圆盘(111)的外侧面和边缘被所述外圆盘(112)覆盖；

两个所述第一膜座(110)的外圆盘(112)的边缘夹持所述膜片(120)并焊接连接；

所述内圆盘(111)局部向外延伸出所述外圆盘(112)的外壁圆周面，从而形成延伸块(113)，所述第一信号引线(170)从所述内圆盘(111)内向外经所述延伸块(113)引出。

4.根据权利要求3所述的一种多电极压力传感器，其特征在于：每个所述感应腔(130)分别连接有引压管(160)，所述引压管(160)包括直管(161)和弯管(162)；

所述直管(161)穿设在所述第一膜座(110)中心，该直管(161)的两端分别开口于所述内圆盘(111)的凹槽槽底面和外圆盘(112)外侧面，该直管(161)管壁与所述内圆盘(111)和外圆盘(112)密封；

所述第二膜座(140)中心穿设有弯管(162)，该弯管(162)的内端开口于所述第二膜座(140)的凹槽槽底面，该弯管(162)的内端与所述直管(161)的外端正对，该弯管(162)的外端向外穿出所述第二膜座(140)，该弯管(162)的外壁与所述第二膜座(140)密封。

5.根据权利要求4所述的一种多电极压力传感器，其特征在于：所述弯管(162)为金属管，所述弯管(162)在所述内圆盘(111)内的管体外壁与所述内圆盘(111)直接接触密封，所述弯管(162)在所述外圆盘(112)内的管体外套设有陶瓷绝缘套，该陶瓷绝缘套将所述弯管(162)外壁与所述外圆盘(112)绝缘密封。