[发明专利]基于机器学习的芯片性能参数测试方法和装置在审
| 申请号： | 202111519259.3 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114253135A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 易丛文;徐文丞;林孟喆 | 申请（专利权）人： | 筏渡（上海）科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁;周良玉 |
| 地址： | 200090 上海市杨浦区长阳*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本说明书实施例提供了一种基于机器学习的芯片性能参数测试方法和装置。该方法的一具体实施方式包括：控制测试机台对同一批次的晶圆进行采样，其中，上述测试机台被设置为，第一部分机台按照第一采样密度采集晶圆上芯片的第一测试用数据，第二部分机台按照第二采样密度采集晶圆上芯片的第二测试用数据，上述第一采样密度小于上述第二采样密度；使用预设的机器学习模型对上述第一测试用数据进行处理，生成第一测试参数；使用预定拟合曲线方法对上述第二测试用数据进行处理，生成第二测试参数；基于上述第一测试参数和上述第二测试参数，完成上述同一批次的晶圆上的芯片的电学性能参数测试。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 机器 学习 芯片 性能参数 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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