[发明专利]基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置及方法在审
| 申请号： | 202111503743.7 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114527129A | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 彭艳华;唐傲;牛方明;王文举;冯彪;闫奕樸;兰海贝 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 陶平英 |
| 地址： | 541004 广*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置及方法，装置包括壳体、热加载机构、剪切散斑干涉检测机构、真空加载机构、吸盘式抓取机构、缺陷标记机构、传输机构和检测工作台，热加载机构和剪切散斑干涉检测机构设在壳体内的顶部，真空加载机构、吸盘式抓取机构和缺陷标记机构分别设置壳体内的三个侧壁上，传输机构和检测工作台设在壳体内的底部，剪切散斑干涉检测机构设在检测工作台的正上方。该装置及方法既可实现不同尺寸小型工件的自动化检测，又可对被测工件进行缺陷位置标记，便于工件的后续处理，检测效率大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 剪切 干涉 小型 工件 内部 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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