[发明专利]基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置及方法

权利要求书

1.一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，包括壳体、热加载机构、剪切散斑干涉检测机构、真空加载机构、吸盘式抓取机构、缺陷标记机构、传输机构和检测工作台，热加载机构和剪切散斑干涉检测机构设在壳体内的顶部，真空加载机构、吸盘式抓取机构和缺陷标记机构分别设置壳体内的三个侧壁上，传输机构和检测工作台设在壳体内的底部，剪切散斑干涉检测机构设在检测工作台的正上方，其中热加载机构、剪切散斑干涉检测机构、真空加载机构、吸盘式抓取机构、缺陷标记机构、传输机构和检测工作台均与控制系统连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，所述的剪切散斑干涉检测机构，包括底座，底座的上表面固定在壳体的顶部，底座的下表面与气缸的一端连接，气缸的另一端与承重板连接，承重板上设有气缸控制器，承重板的下表面与旋转台连接，旋转台的与转轴的一端连接，转轴的另一端与检测盒连接，检测盒上设有激光器，检测盒的的末端设有图像采集头。

3.根据权利要求1所述的一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，所述的检测工作台，包括竖直设在壳体内底部上的承重体，承重体顶部设有加载平台，加载平台顶部设有中空的方形框架，方形框架通过支撑杆架设在加载平台上，方形框架内设有工作盘，工作盘通过连接杆与方形框架转动连接，方形框架上设有旋转电机；旋转电机的输出端与连接杆连接，带动连接杆转动，从而带动工作盘旋转；工作盘上设有若干个检测工位，每个检测工位包括吸附式承载台，吸附式承载台与伸缩杆连接，伸缩杆由设在工作盘上的吸附式承载台控制器连接，吸附式承载台的两侧还设有伸缩台，伸缩台上设有压力传感器；工作盘的两侧还设有限位杆，方形框架上设有与限位杆配合的限位槽，限位杆由限位控制器控制。

4.根据权利要求1所述的一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，所述的缺陷标记机构设在控制系统控制的机械臂上，缺陷标记机构包括标记液体容纳箱，标记液体容纳箱通过转轴与机械臂的自由端连接，标记液体容纳箱的底部与连接管的一端连通，连接管的另一端与挤压器连接，挤压器上设有标记头；连接管上设有阀门控制器。

5.根据权利要求4所述的一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，所述的标记头为若干个并排的标记头。

6.根据权利要求4所述的一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，所述的标记液体容纳箱内的液体为可擦除的液体。

7.根据权利要求1所述的一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，所述的热加载机构、真空加载机构和吸盘式抓取机构均设在机械臂上，机械臂固定在壳体内侧面上，机械臂由控制系统控制。

8.根据权利要求1所述的一种基于剪切散斑干涉的小型工件内部缺陷检测装置，其特征在于，所述的检测工作台设在壳体内底部的正中心，传输机构设在检测工作台的周围。