[发明专利]一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法在审
| 申请号： | 202111497956.3 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114291785A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 高旗;郝玉涛;杨挺;杨贵玉;路文一;尹玉刚;陈青松;彭泳卿 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673 | 代理人： | 赵洋 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于GIS盖板的三明治加速度计制备方法，包括上盖板、下盖板和中间层敏感结构，上盖板包括硅‑玻璃，下盖板包括硅‑玻璃，该方法包括以下步骤：在上下盖板硅晶片上光刻腐蚀出多个单元图形，与玻璃片进行键合，通过回流、研磨、抛光等工序实现GIS结构；结构硅晶片双面光刻湿法腐蚀出结构图形；将结构硅晶片中的结构图形、上下盖板硅晶片中与结构硅中结构图形对应的单元图形在设定气压、设定温度的键合设备内进行键合。本发明继承经典硅‑玻璃‑硅‑玻璃‑硅五层结构低寄生电容优势，同时实现了表面电极制备，使用基于与硅热膨胀系数更为接近的SD‑2玻璃和Ti金属电极，制造出寄生电容小、低应力的敏感芯片，同时实现晶圆级批量化性能测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 gis 盖板 三明治 加速度计 制备 方法 | ||
【主权项】：
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