[发明专利]一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111488949.7 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114136507A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 车颜贤;曾庆平;宋轶佶;何峰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 廖元宝 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种无线无源声表面波压力传感器及其制备方法，此传感器具体包括衬底，所述衬底的中部位置设置有压力空腔；所述衬底的上表面设有压电薄膜，所述压电薄膜的上表面设置有第一声表面波器件，所述压电薄膜的下表面设置有第二声表面波器件，所述第一声表面波器件和第二声表面波器件均为压力感应器件且正对于所述压力空腔，SAW传播方向沿所述压电薄膜长度方向。制备方法为：在压电薄膜基片的两侧制备第一声表面波器件和第二声表面波器件；在硅片上制备压力空腔，形成衬底；将声表面波器件与具有压力空腔的硅片进行键合，得到声表面波压力传感器。本发明具有高灵敏度及高分辨率等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无线 无源 表面波 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所，未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111488949.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
