[发明专利]一种用于硒化锌基片的高附着力高表面质量的增透膜及其制备方法和应用有效
申请号: | 202111485771.0 | 申请日: | 2021-12-07 |
公开(公告)号: | CN114114475B | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 何光宗;徐旭;熊涛;郝博;孙义可;薛俊;张天行;杨俊和;王航 | 申请(专利权)人: | 湖北久之洋红外系统股份有限公司 |
主分类号: | G02B1/115 | 分类号: | G02B1/115;C23C14/06;C23C14/30;C23C14/26 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红;李艳景 |
地址: | 430223 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于硒化锌基片的高附着力高表面质量的增透膜及其制备方法和应用。该增透膜依次包括第一硫化锌层、硒化锌层、第二硫化锌层、氟化镱层和第三硫化锌层,其中第一硫化锌层厚度为5‑15nm,硒化锌层厚度为150‑600nm,第二硫化锌层厚度为5‑15nm,氟化镱层厚度为500‑1600nm,第三硫化锌层厚度为10‑20nm。其制备方法为:将预处理后的基片表面依次镀制第一硫化锌层、硒化锌层、第二硫化锌层、氟化镱层和第三硫化锌层即得增透膜。该增透膜与硒化锌基片附着力优异,膜层表面没有毫米级花斑现象,表面质量高,使用寿命长,可广泛应用于红外硒化锌透镜、硒化锌棱镜等军用和民用光学零件制造领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 硒化锌基片 附着力 表面 质量 增透膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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