[发明专利]一种背面钝化接触结构的HBC太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了提供了一种背面钝化接触结构的HBC太阳能电池及其制备方法，包括晶硅衬底，所述晶硅衬底的前表面从内到外包括至少一层正面钝化层，所述晶硅衬底的背表面从内到外分别包括隧穿氧化层、交替排列的n+掺杂多晶硅层、p+掺杂多晶硅层、背面钝化层、激光开槽区、负电极/正电极，所述负电极/正电极采用优化的金属化电极图形。本发明的优点：提升HBC电池背面发射层和背场层场钝化接触效果，提升电池的短路电流密度与开压，降低串联电阻，从而提升电池转换效率，不需用于扩散掩膜设备、简化了工艺流程；避免了产生高温晶格缺陷和杂质缺陷；而且并不掺杂晶硅的侧边面，因而不需要进行边缘绝缘；整套工艺设备相对简单不产生有毒物质、利于环保。