[发明专利]一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111484467.4 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114242884A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 崔云先;莫国伟;高鹏飞;殷俊伟 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/113 | 分类号： | H01L41/113;H01L41/316;H01L41/337 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 姜玉蓉;李洪福 |
| 地址： | 116028 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种监测螺栓应力用ZnO压电薄膜传感器及其制备方法。本发明压电薄膜传感器，包括：螺栓基底，沉积在螺栓基底的头部上的绝缘层薄膜，沉积在绝缘层薄膜上的第一电极薄膜，沉积在第一电极薄膜上的压电薄膜，沉积在压电薄膜上的第二电极薄膜，沉积在第二电极薄膜上的保护层薄膜。本发明将压电薄膜材料通过磁控溅射技术集成到监测基底上，为了防止压电材料产生的电荷泄露，在基底上沉积绝缘薄膜，并且在传感器制备完成后，再在外表面沉积保护薄膜，延长传感器的使用寿命。本发明压电薄膜传感器具有耐高温、耐腐蚀、灵敏度高、动态响应快等优点，采用直流脉冲磁控溅射技术加工效率高，可应用于多种场合，解决实时螺栓应力监测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监测 螺栓 应力 zno 压电 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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