[发明专利]一种硅片边缘抛光装置有效
| 申请号： | 202111483007.X | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114147613B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 黄世果;杨佐东 | 申请（专利权）人： | 重庆臻宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B29/04;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/12;B24B53/007;B24B53/06;B24B53/095 |
| 代理公司： | 重庆拓寻知识产权代理事务所(普通合伙) 50313 | 代理人： | 雷钞 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅片生产加工技术领域，具体是一种硅片边缘抛光装置，包括机体，机体上设置有用于放置硅片的放置机构，放置机构滑动设置在机体上；用于对硅片进行抛光的抛光机构，抛光机构设置在机体的内顶壁上；用于对抛光机构进行修磨的修磨机构，修磨机构设置在抛光机构远离放置机构的一侧，当抛光机构在工作时，能带动修磨机构对抛光机构进行修磨作业,并且在抛光机构的工作过程中，修磨机构能自动对抛光机构进行修磨,不需要额外增加动力源，由此能降低生产制造成本，提高本装置的稳定性，从而提高本发明的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 边缘 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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