[发明专利]一种硅片边缘抛光装置

说明书

本发明涉及硅片生产加工技术领域，具体是一种硅片边缘抛光装置，包括机体，机体上设置有用于放置硅片的放置机构，放置机构滑动设置在机体上；用于对硅片进行抛光的抛光机构，抛光机构设置在机体的内顶壁上；用于对抛光机构进行修磨的修磨机构，修磨机构设置在抛光机构远离放置机构的一侧，当抛光机构在工作时，能带动修磨机构对抛光机构进行修磨作业,并且在抛光机构的工作过程中，修磨机构能自动对抛光机构进行修磨,不需要额外增加动力源，由此能降低生产制造成本，提高本装置的稳定性，从而提高本发明的实用性。

技术领域

本发明涉及硅片生产加工领域，具体地说，是一种硅片边缘抛光装置。

背景技术

随着半导体技术不断发展，对硅片的几何参数、边缘及表面的粗糙度提出了更加严格的要求。如果硅片边缘比较粗糙，存在凹凸不平等现象，在各种后续加工工艺中可能会受到外力的作用，需要通过对硅片进行边缘抛光，来尽可能去除边缘损伤，得到光滑的硅片边缘。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中的问题，提供一种硅片边缘抛光装置。为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：一种硅片边缘抛光装置，包括机体，所述机体上设置有用于放置硅片的放置机构，所述放置机构滑动设置在所述机体上；用于对硅片进行抛光的抛光机构，所述抛光机构设置在所述机体的内顶壁上；用于对所述抛光机构进行修磨的修磨机构，所述修磨机构设置在所述抛光机构远离所述放置机构的一侧，当所述抛光机构在工作时，能带动所述修磨机构对所述抛光机构进行修磨作业。

所述放置机构包括滑移部件，所述滑移部件设置在所述机体的水平工作台上，所述滑移部件上滑动连接有安装部，所述安装部内部固定放置有吸气泵以及第一电机；所述安装部上设置有传动部件，所述传动部件原理所述安装部的一端设置放置部，所述放置部通过所述传动部件与所述吸气泵连接，用于固定待加工的硅片。

所述传动部件包括第一转轴，所述第一转轴沿轴线方向开设有导气通道，所述第一转轴上导气通道的一端与所述吸气泵的输出端密封连接，所述第一转轴与所述安装部转动连接，安装部上还设置有第二转轴，所述第二转轴的一端与所述第一电机的输出端固定连接，所述第一转轴上同轴固定套设有第一齿轮，所述第二转轴上同轴固定套设有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合连接。

其特征在于：所述抛光机构包括第三转轴，所述第三转轴与设置在所述机体上的第二电机的输出端固定连接，所述第三转轴的另一端设置有抛光轮。

所述第三转轴沿其轴线方向可伸缩设置。

所述抛光轮包括一弧形加工槽。

所述修磨机构包括用于对抛光轮进行打磨的修磨部，所述修磨部通过连接部件与所述机体连接，并且通过驱动部件实现对抛光轮的间歇性修磨。

所述修磨机构还包括吹气部件，所述吹气部件与所述连接部件固定连接，所述吹气部件的输出端通过连接气管与所述修磨部相连通，所述修磨部上开设有吹气孔。

所述连接部件包括滑座，所述滑座通过连接部与所述机体固定连接，所述滑座背离所述抛光机构的一侧延伸设置有连接座，所述连接座用于连接所述吹气部件；所述滑座上滑动卡接有连接块，所述连接块的下端固定设置有驱动轮，所述驱动轮背离所述连接块的一端固定设置有连接杆，所述修磨部与所述连接杆固定连接；凸轮，所述凸轮同轴固定设置在所述第三转轴上，所述凸轮的侧壁与所述驱动轮的侧壁相抵接。

所述连接块上还设置有驱动杆，所述驱动杆的延伸方向与所述滑座的延伸方向相同，所述驱动杆背离所述连接块的一端与所述吹气部件的活塞杆固定连接。

本发明优点在于：