[发明专利]多掺杂平板硅光学调制器在审
| 申请号： | 202111478317.2 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN115145057A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | S·卡里梅拉希;加藤正树 | 申请（专利权）人： | 马维尔亚洲私人有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025;G02F1/015 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张维;张昊 |
| 地址： | 新加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及多掺杂平板硅光学调制器。例如，一种具有改进带宽的硅光学调制器，包括在截面中具有肋结构的硅波导，在肋结构的两个相对侧分别连接到第一平板区域和第二平板区域。硅光学调制器还包括形成在肋结构中的PN结，其具有与第一平板区域接合的P型部分和与第二平板区域接合的N型部分。此外，硅光学调制器包括在以第一端部区域结束的第一平板区域中一个接一个形成的多个P型掺杂段以及在以第二端部区域结束的第二平板区域中一个接一个形成的多个N型掺杂段。多个P型或N型掺杂段被配置为针对远离肋结构的段增加掺杂水平。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 平板 光学 调制器 | ||
【主权项】：
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