[发明专利]非接触式晶圆台清洗装置、方法及其清洗检验装置、方法在审
| 申请号： | 202111467132.1 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN116213361A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 金成昱;梁贤石 | 申请（专利权）人： | 成都高真科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;G01D21/00;G01L13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 喻英 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式晶圆台清洗装置、方法及其清洗检验装置、方法，清洗装置位于晶圆台正上方，清洗装置包括吹气喷嘴，以及围绕吹气喷嘴周向设置的遮挡罩，遮挡罩与吹气喷嘴在晶圆台上的投影位置位于晶圆在晶圆台上的投影位置内。本发明采用非接触方式来对晶圆台进行清洗，避免了对晶圆台的磨耗；清洗之后，无需要采用裸晶圆进行验证，采用本发明方案可以立即晶圆台进行清洁度的确认。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 圆台 清洗 装置 方法 及其 检验 | ||
【主权项】：
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