[发明专利]一种集成LC滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 202111465493.2 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114157257A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 伍荣翔 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H1/00 | 分类号： | H03H1/00;H03H3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种集成LC滤波器，包括衬底、第一导电层、第一介质层和第二导电层；所述衬底的第一表面开设有至少一个第一凹槽，所述第一导电层、第一介质层、第二导电层依次设置于已形成所述至少一个第一凹槽的所述衬底的第一表面；所述第一导电层、所述第一介质层和所述第二导电层形成的叠层结构为所述集成LC滤波器提供电容；所述至少一个第一凹槽包括一个连续线条形第一凹槽，所述连续线条形第一凹槽内设置的所述第二导电层形成与所述连续线条形第一凹槽匹配的导电绕组，所述导电绕组为所述集成LC滤波器提供电感。本发明通过在衬底表面设置凹槽，并将集成LC滤波器的电容和电感均主要设置于凹槽内(凹槽外区域仍提供少量电容值)，共用凹槽面积和加工工艺，同时利用凹槽的侧面积和深度增加电容有效面积和电感导电绕组厚度，具有工艺简单、面积利用率高、电容密度大、电感寄生电阻小等有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 lc 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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