[发明专利]包含调制器维护单元的电路检验系统在审
| 申请号： | 202111464329.X | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114966361A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李相庆;李熙春;孙强 | 申请（专利权）人： | 奥宝科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘媛媛 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种包含调制器维护单元的电路检验系统。本公开的一种用于检验电路的系统包括：卡盘，其经配置以支撑所述电路；调制器，其经配置以可在所述卡盘上方移动并定位在所述电路上方以检测所述电路中的缺陷；以及调制器维护单元，其包括以下各项中的至少一者：清洁构件，其用于从所述调制器的表面移除外来物质；及检测构件，其用于检测所述调制器的所述表面的平面度，其中所述调制器可移动以定位成邻近于所述调制器维护单元。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 调制器 维护 单元 电路 检验 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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