[发明专利]包含调制器维护单元的电路检验系统

权利要求书

1.一种用于检验电路的系统，其包括：

卡盘，其经配置以支撑所述电路；

调制器，其经配置以能够在所述卡盘上方移动并定位在所述电路上方以检测所述电路中的缺陷；以及

调制器维护单元，其包括以下各项中的至少一者：清洁构件，其用于从所述调制器的表面移除外来物质；及检测构件，其用于检测所述调制器的所述表面的平面度，

其中所述调制器能够移动以定位成邻近于所述调制器维护单元。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器经配置以在以下各阶段定位成邻近于所述调制器维护单元：i)在所述电路的检验开始之前；ii)在所述电路的所述检验完成之后；或者iii)在所述电路的检验操作期间。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述清洁构件包括一或多个气刀。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述检测构件包括具有激光发射单元及激光接收单元的一或多个激光传感器。

5.根据权利要求4所述的系统，其中所述激光发射单元经配置以在平行于所述调制器的所述表面的方向上发射激光，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间，且从所述激光发射单元发射的所述激光与所述调制器的所述表面部分地重叠。

6.根据权利要求4所述的系统，其中所述激光接收单元经配置以根据所述调制器的水平移动而检测激光的强度的改变，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间。

7.根据权利要求6所述的系统，其进一步包括：

控制单元，其用于基于所述激光接收单元检测到的所述激光的所述强度的所述改变而确定在所述调制器的所述表面上是否存在以下各项中的至少一者：突起及凹槽。

8.根据权利要求7所述的系统，其中如果所述控制单元已确定在所述调制器的所述表面上存在所述突起，那么所述系统经配置以通过所述清洁构件从所述调制器的所述表面移除外来物质。

9.根据权利要求7所述的系统，其中如果所述控制单元已确定在所述调制器的所述表面上存在以下各项中的至少一者：所述突起及所述凹槽，那么所述系统经配置以通过所述控制单元产生异常信号。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器维护单元包括所述清洁构件及所述检测构件，且所述调制器维护单元经配置以在所述调制器定位成邻近于所述调制器维护单元时同时执行通过所述清洁构件的清洁操作及通过所述检测构件的检测操作。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器维护单元包括所述清洁构件，并且进一步包括用于抽吸通过所述清洁构件从所述调制器的所述表面移除的所述外来物质的抽吸构件。

12.根据权利要求11所述的系统，其中所述调制器维护单元包括两个清洁构件，且所述抽吸构件位于所述两个清洁构件之间。

13.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器维护单元布置在所述卡盘的侧上。

14.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器维护单元布置在所述卡盘的侧当中所述卡盘的邻近于所述检验系统的前面部分的一个侧上。

15.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器维护单元布置在所述卡盘的侧当中所述卡盘的邻近于所述检验系统的后面部分的一个侧上。

16.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器维护单元布置在所述卡盘的侧当中所述卡盘的邻近于所述调制器开始检验所述电路的点的一个侧上。