[发明专利]包含调制器维护单元的电路检验系统

说明书

本公开涉及一种包含调制器维护单元的电路检验系统。本公开的一种用于检验电路的系统包括：卡盘，其经配置以支撑所述电路；调制器，其经配置以可在所述卡盘上方移动并定位在所述电路上方以检测所述电路中的缺陷；以及调制器维护单元，其包括以下各项中的至少一者：清洁构件，其用于从所述调制器的表面移除外来物质；及检测构件，其用于检测所述调制器的所述表面的平面度，其中所述调制器可移动以定位成邻近于所述调制器维护单元。

技术领域

本公开涉及一种包含调制器维护单元的电路检验系统。

背景技术

液晶显示器(LCD)面板合并有展现电场相关光调制性质的液晶。所述液晶显示器面板频繁用于在范围从传真机、膝上型计算机屏幕到大屏幕高分辨率TV的各种装置中显示图像及其它信息。有源矩阵LCD面板是由数个功能层组成的复杂层式结构：偏光膜；合并有薄膜晶体管、存储电容器、像素电极及互连布线的TFT玻璃衬底；合并有黑色矩阵及滤色器阵列以及透明共用电极的滤色器玻璃衬底；由聚酰亚胺制成的定向膜；以及合并有塑料/玻璃间隔件以维持适当LCD单元厚度的真实液晶材料。

LCD及OLED面板是在洁净室环境中高度受控条件下制造的以最大化合格率。尽管如此，由于制造缺陷，许多LCD及OLED面板不得不被丢弃。

如上所述，为了提高复杂电子装置的生产合格率，各种检验阶段经执行以便识别在制作过程的各个阶段期间可能出现的各种缺陷。前述检验阶段可在制作阶段之间或者在整个制作过程完成之后执行。前述检验过程的一个实例是测试LC及OLED显示器中所使用的TFT阵列的电缺陷。各种检验装置用于执行前述测试。可用于此目的的示范性装置包含可从澳宝有限公司(Orbotech Ltd)商购获得的阵列检查器。

发明内容

用于解决问题的手段

根据本公开的一或多个实施例，可提供一种用于检验电路的系统，所述系统包括：卡盘，其经配置以支撑所述电路；调制器，其经配置以可在所述卡盘上方移动并定位在所述电路上方以检测所述电路中的缺陷；以及调制器维护单元，其包括以下各项中的至少一者：清洁构件，其用于从所述调制器的表面移除外来物质；及检测构件，其用于检测所述调制器的所述表面的平面度，其中所述调制器可移动以定位成邻近于所述调制器维护单元。

在一个实施例中，所述调制器可经配置以在以下各阶段定位成邻近于所述调制器维护单元：i)在所述电路的检验开始之前；ii)在所述电路的所述检验完成之后；或者iii)在所述电路的检验操作期间。

在一个实施例中，所述清洁构件可包括一或多个气刀。

在一个实施例中，所述检测构件可包括具有激光发射单元及激光接收单元的一或多个激光传感器。

在一个实施例中，所述激光发射单元可经配置以在平行于所述调制器的所述表面的方向上发射激光，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间，且从所述激光发射单元发射的所述激光可与所述调制器的所述表面部分地重叠。

在一个实施例中，所述激光接收单元可经配置以根据所述调制器的水平移动而检测激光的强度的改变，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间。

在一个实施例中，所述系统可进一步包括控制单元，所述控制单元用于基于所述激光接收单元检测到的所述激光的所述强度的所述改变而确定在所述调制器的所述表面上是否存在以下各项中的至少一者：突起及凹槽。

在一个实施例中，如果所述控制单元已确定在所述调制器的所述表面上存在所述突起，那么所述系统可经配置以通过所述清洁构件从所述调制器的所述表面移除外来物质。

在一个实施例中，如果所述控制单元已确定在所述调制器的所述表面上存在以下各项中的至少一者：所述突起及所述凹槽，那么所述系统可经配置以通过所述控制单元产生异常信号。